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等離子刻蝕氣體CF4供氣需不需要安裝電子特氣系統(tǒng)?

2021-01-08 14:00:18    責(zé)任編輯: 特氣系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)安裝公司     0

等離子刻蝕氣體,四氟化碳(CF4)在輸送和使用過程中是否需要電子特氣系統(tǒng)的參與?關(guān)于這個(gè)問題的答案是:需要的!至于為什么需要呢?讓我們來了解一下四氟化碳(CF4)和電子特氣系統(tǒng)。


四氟化碳(CF4)介紹:

四氟化碳(CF4)是一種無色無味的氣體,無毒、不燃,但在高濃度時(shí)具有麻醉作用,且揮發(fā)性較高,與可燃性氣體燃燒時(shí),會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物,具有一定的危險(xiǎn)性。

在半導(dǎo)體、集成電路等電子產(chǎn)品生產(chǎn)中,等離子表面刻蝕是一種常用的工藝,是利用典型的氣體組合形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表面的有機(jī)物基體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成其他比如CO,CO2,H2O等氣體,從而達(dá)到蝕刻的目的。四氟化碳是實(shí)現(xiàn)刻蝕功能的一種常規(guī)氣體。

四氟化碳(CF4)在電離后會(huì)產(chǎn)生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體,能夠?qū)Ω鞣N有機(jī)表面實(shí)現(xiàn)刻蝕及有機(jī)物去除,在晶圓制造、線路板制造、太陽能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。


電子特氣系統(tǒng)介紹:

電子特氣系統(tǒng)由供氣端(CF4是氣體鋼瓶供氣)、GC特氣柜/GR特氣架、氣體閥門分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的316L EP不銹鋼管道和氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)等組成。

電子特氣被稱為電子工業(yè)的“血液”,其純度和清潔度直接影響著光電產(chǎn)品的質(zhì)量、微電子元件的質(zhì)量、集成度、的具體技術(shù)指標(biāo)和良率,電子特氣系統(tǒng)的作用就是保證各生產(chǎn)工藝的電子特氣的純度和安全穩(wěn)定供應(yīng),從根本上保證了電子器件的準(zhǔn)確性。


綜上,電子四氟化碳是目前半導(dǎo)體行業(yè)主要的等離子體蝕刻氣體之一,在硅、二氧化硅、金屬硅化物以及某些金屬的蝕刻,以及低溫制冷、電子器件表面清洗等方面被廣泛應(yīng)用。而電子特氣系統(tǒng)為它保駕護(hù)航,保證四氟化碳(CF4)的純度和安全穩(wěn)定使用。