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半導(dǎo)體工藝尾氣處理設(shè)備Local Scrubber中的“安全”

2020-12-17 10:49:38    責任編輯: 尾氣處理設(shè)備制造廠商     0

半導(dǎo)體制程生產(chǎn)中會用到大量的有毒腐蝕性易燃的特殊氣體、化學(xué)品和有機溶劑等原材料,這些物質(zhì)所產(chǎn)生的廢氣在冗長的排氣過程中,因其氣體性質(zhì)可能會引發(fā)風管堵塞、管路腐蝕等,導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)爆炸等事故,所以應(yīng)先在就近的小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)進行處理,后再進入中央處理系統(tǒng)處理。

小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)根據(jù)處理廢氣方式,大致分四類:水洗式、氧化式、吸附式和等離子燃燒式,今天給大家介紹的是吸附式尾氣處理設(shè)備,和該設(shè)備中設(shè)計、結(jié)構(gòu)和功能上的“安全”。



吸附式尾氣處理設(shè)備設(shè)計上: 

1、小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)設(shè)計初衷是為了查漏補缺和應(yīng)急使用,保護環(huán)境和人員安全。

2、以吸附桶完全處理設(shè)備尾氣,確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害;

3、在無塵室內(nèi)不產(chǎn)生火源,沒有明火,可以減少事故的發(fā)生;


吸附式尾氣處理設(shè)備結(jié)構(gòu)上:



1、PLC 觸控面板設(shè)計和人機接口控制系統(tǒng),可實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。

2、全面監(jiān)控:各管路進、出口設(shè)計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器,針對設(shè)備運行時各種狀況,隨時監(jiān)控,避免泄漏等事故的發(fā)生。

3、尾氣出口處:安裝變頻風機,可根據(jù)進出口壓力,調(diào)整風機轉(zhuǎn)速,避免廢氣回流,保護系統(tǒng)及設(shè)備安全。

4、指示劑:配備PH3, AsH3氣體監(jiān)控變色球指示劑,替代傳統(tǒng)電化學(xué)計。


尾氣處理設(shè)備功能中:

半導(dǎo)體制造生產(chǎn)的廢氣對環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以一般半導(dǎo)體廠都會加裝大型中央廢氣處理系統(tǒng)。但由于工作區(qū)域多半離中央廢氣處理系統(tǒng)遠,常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴重者甚至引起爆炸,無法確?,F(xiàn)場工作人員之工作安全。因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣確保人員安全。



以上,便是關(guān)于吸附式尾氣處理設(shè)備中設(shè)計理念、結(jié)構(gòu)組成和功能作用上的“安全”介紹,今天就到這了,感謝您的閱讀!