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Gas Scrubber,特氣柜,使用Arsine(AsH3)氣體進(jìn)行LPCVD工藝的處理信息

2020-04-01 10:25:07        0

Gas Scrubber,特氣柜,使用Arsine(AsH3)氣體進(jìn)行LPCVD工藝的處理信息

問:我們需要為新的摻雜工藝添加一個(gè)LPCVD工具,我們需要將其接入產(chǎn)線。該過程要求使用砷化氫(AsH3),我們對(duì)此沒有很多經(jīng)驗(yàn),但是我們知道這氣體是劇毒的。我們需要在Fab中添加一個(gè)特氣柜和一個(gè)尾氣處理設(shè)備來處理這種氣體。您對(duì)特氣柜和尾氣處理設(shè)備有什么建議?我需要做一個(gè)特別的氣瓶房來存放這些氣瓶嗎?由于其毒性,我是否需要雙套管氣體管道?感謝您的幫助。

答:謝謝你的提問。是的,砷化氫(AsH3)是用于二氧化硅加工工藝的特別危險(xiǎn)的氣體。它被歸類為高毒,易燃?xì)怏w,因此您需要適當(dāng)?shù)臍馄块g來存放它。此外,由于它是氫化物氣體,因此對(duì)對(duì)空氣的濕度也有要求。我們強(qiáng)烈建議您使用全自動(dòng)特氣柜,以確保您更換瓶子既安全又有效,可以防止面板上的水分進(jìn)入。您還需要凈化氣體凈化器,以清除凈化氣體供應(yīng)中可能存在的任何水分。最后建議管道安裝時(shí)使用雙套管管道安裝。

關(guān)于Gas Scrubber氣體廢氣處理設(shè)備,AsH3通常以小流量運(yùn)行,并且吸附式的尾氣處理設(shè)備可以成功消除AsH3氣體,因此建議使用干式吸附式尾氣處理系統(tǒng)。