特氣控制面板的設(shè)計

特氣控制面板是氣路系統(tǒng)中重要的一個控制單元，這里主要圍繞易燃易爆性、毒腐性、面板控制等介紹，包括特氣面板設(shè)計規(guī)范和作用等內(nèi)容。

特氣輸送面板介紹

特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。一般工藝氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過高壓控制盤面時，都實現(xiàn)了一次調(diào)壓、過濾、流量穩(wěn)定、吹掃、抽真空、壓力偵測等功能。不同的氣體和工藝需求，可以根據(jù)實際情況定制具體功能?，F(xiàn)階段，越來越多的高校實驗室引入了ICP、PVD、PEVCD等設(shè)備進(jìn)行芯片鍍膜、刻蝕方面的研究，這些工藝氣體多是硅烷、乙烯、溴化氫等毒腐、易燃易爆性氣體，對于氣源的控制要求非常高，也給供氣面板提出了很多要求。

特氣面板設(shè)計規(guī)范指南

面板閥門

1、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門，并應(yīng)為常閉氣動閥門，位置應(yīng)靠近氣瓶;

2、氣瓶壓力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面 板應(yīng)設(shè)有過流開關(guān);

3、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置，真空管路應(yīng)設(shè)止回閥;

4、氣體面板應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口。

可燃性特氣柜設(shè)計參考

氣瓶柜

硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次/H，且氣柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控;自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測器;可燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置誰噴淋系統(tǒng);自燃性特種氣體的氣柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。

VMP閥門盤氣體面板設(shè)計的意義

輸送控制面板的設(shè)計對于整個供氣系統(tǒng)的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用，在設(shè)計初期，業(yè)主需要將工藝、要求等提供給設(shè)計院作為設(shè)計依據(jù)，同時，在建設(shè)周期，有必要參考相應(yīng)的規(guī)范將要求落實到施工當(dāng)中去。