廢氣處理是制造過程中經常被忽視但至關重要的組成部分，歷史上幾個嚴重的事故，就有發(fā)生在沒有安裝減排、尾氣處理設備的工廠中。但如今，尾氣處理仍常常被工廠看作為成本，而不是安全問題。

工廠安裝尾氣處理設備有三個主要原因：

第一、是健康和安全，半導體、光伏和LED等工廠許多使用的工藝氣體是易燃、易爆的如H2或SiH4，和有毒或者腐蝕性的如COF2，HBr，F(xiàn)2等，在與人或野生動物接觸之前必須進行處理。

第二、是許多使用的氣體對環(huán)境是危險的，如CF4，其壽命約為 50,000年的氣氛，全球變暖潛力為二氧化碳的6.500倍。

第三，是大量廢氣在氣流中含有大量的顆粒或灰塵。 例如，這種灰塵通常在基于硅烷（SiH4）的沉積過程中產生，反應的硅烷產生作為廢物的非常細的粉塵的二氧化硅。 這種灰塵有可能擾亂設備排氣，導致制造工廠意外停機。 使粉塵難以處理的是粒徑通常為亞微米，并且容易通過濕式洗滌器或物理過濾器而不被困在洗滌液中。

因此，尾氣處理設備是制造設施的重要組成部分。典型的尾氣處理設備位于子晶圓廠中，放置在真空泵之后。工藝廢氣在無塵室機臺端(POU)反應被排放出后，即由真空Pump抽至Local Scrubber做處理，避免在冗長的排氣過程中引發(fā)非預期的氣體泄漏，局部聚積或相互反應。

待處理過后的氣體再接續(xù)至廠務端中央處理系統(tǒng)做第二道處置，以減少廠務端污染物處理上的負荷，達到對半導體業(yè)空氣污染管制及排放的標準。

上面的三點原因就是關于半導體、光伏和LED等工廠安裝尾氣處理設備的主要原因了，尾氣處理設備的安裝，不管是從廢氣治理還是生產安全等方面，都是生產制造中的必備設備。感謝您的閱讀！