近幾年，隨著國內(nèi)智能移動(dòng)設(shè)備、自動(dòng)駕駛汽車、云服務(wù)數(shù)據(jù)、5G通信、環(huán)保新能源等強(qiáng)勁的市場需求，促進(jìn)了包括半導(dǎo)體集成電路芯片、液晶面板、光伏等行業(yè)產(chǎn)品的迅猛發(fā)展。這些領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)鏈大致可以分為上游的高純材料，中游的芯片制造以及下游的終端產(chǎn)品。其中，上游的高純材料制造和傳輸與中游的芯片制造，包含了大量復(fù)雜的工藝流程，而關(guān)鍵的工藝系統(tǒng)就是流體系統(tǒng)。

　　由于集成電路芯片制造的工藝設(shè)備需要大量工藝氣體參與反應(yīng)，其中強(qiáng)腐蝕性的氣體有氯化氫、三氯化硼、溴化氫等。對于此類腐蝕性氣體應(yīng)用，應(yīng)當(dāng)采用高質(zhì)量的特氣柜產(chǎn)品，筑牢安全防線。

　　在特氣柜研發(fā)制造上，目前行業(yè)表現(xiàn)出色的當(dāng)為沃飛科技。長期以來，沃飛科技嚴(yán)格按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行各項(xiàng)管理，產(chǎn)品有多項(xiàng)國家專利及CE/ROHS/SIME認(rèn)證，憑借著卓越的研發(fā)能力與精銳的技術(shù)力量，能夠圍繞客戶提供大宗氣體系統(tǒng)、電子特氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、潔凈氣體管道、高純化學(xué)品供液系統(tǒng)、Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)等工程項(xiàng)目設(shè)計(jì)安裝交鑰匙模式高性能和高質(zhì)量的解決方案。經(jīng)過多年的行業(yè)技術(shù)積累和穩(wěn)健快速發(fā)展，公司主營業(yè)務(wù)和產(chǎn)品在市場上積累了良好的業(yè)績和口碑，獲得客戶的高度認(rèn)可。

　　沃飛科技緊跟半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢，利用自身豐富的設(shè)計(jì)能力和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，貼近客戶應(yīng)用并不斷創(chuàng)新。其全自動(dòng)特氣柜(GC)是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性特種氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的特氣設(shè)備，在感受到外界環(huán)境變化達(dá)到閾值時(shí)會(huì)有信號輸出至中控室，并發(fā)出警報(bào)，設(shè)備會(huì)自動(dòng)切斷，確保生產(chǎn)安全。

　　其以PLC為控制主體，配合觸摸屏進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)定，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全，有助于企業(yè)全面落實(shí)企業(yè)安全生產(chǎn)責(zé)任制，強(qiáng)化安全生產(chǎn)，對重大危險(xiǎn)氣體源頭進(jìn)行管控，從源頭上防范安全生產(chǎn)責(zé)任事故的發(fā)生。

　　該設(shè)備擁有SIME 2認(rèn)證，在產(chǎn)品品質(zhì)和功能方面值得信賴和放心，第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)泄漏并阻止泄漏氣體擴(kuò)散，及時(shí)報(bào)警處理，避免更大事故的發(fā)生，還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤面設(shè)計(jì)，全面滿足客戶的行業(yè)需求。

　　在半導(dǎo)體等行業(yè)制程工藝中，需要“安全”和“穩(wěn)定”地使用特種氣體，普通的氣瓶柜無論是在材質(zhì)上還是功能上都無法滿足要求，所以半導(dǎo)體行業(yè)可配置有SEMI S2認(rèn)證的沃飛科技電子特氣柜。選擇沃飛科技，實(shí)力品牌質(zhì)量有保障!