VMB閥門分配箱的設計與應用

閥門配電箱(VMB)通常用于輸送特殊氣體。在半導體、光伏太陽能、集成電路芯片生產(chǎn)領(lǐng)域，VMB廣泛應用于磷化氫、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、易燃易爆、有毒氣體等應用。

近年來，智研數(shù)據(jù)研究中心，隨著中國超大規(guī)模集成電路、平板顯示、光伏發(fā)電等行業(yè)的快速發(fā)展，大大增加了電子燃氣市場的需求。電子特種氣體的國產(chǎn)化已成為大勢所趨。
據(jù)了解，中國國產(chǎn)化取得可喜進展:國內(nèi)高純氨改變了國外氣體公司的壟斷市場，高純四氟化碳“貴而不可得”的時代已經(jīng)結(jié)束。高純度氯化氫已于中國成功打開。市場。因此，閥門分配系統(tǒng)的應用將會越來越廣泛。

電子特種氣體VMB閥門分配箱應設計進氣管隔離閥和壓力指示器；氣路應提供獨立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器和過流開關(guān)；氣體分支應配備獨立的出口隔離閥；管道上應提供獨立的吹掃氣體設備和輔助真空設備。

對于惰性氣體，應提供入口管道隔離閥和壓力指示器；氣路應配備獨立的壓力控制閥、過濾器；應為氣體分流提供單獨的出口隔離閥。

電子氣體，尤其是危險的特殊氣體，是集成電路、光電子學、微電子學，尤其是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示設備、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程中必不可少的基礎(chǔ)支撐材料。這種材料在電子工業(yè)中被稱為“血液”和“食品”，它們的純度和清潔度直接影響光電產(chǎn)品的質(zhì)量。微電子元件的質(zhì)量、集成度、具體技術(shù)指標和成品率從根本上限制了電路和器件的精度和準確度。VMB閥門分配箱的引入是一對多點對點分支的核心單元。不僅保證了更多的用氣，也保證了用氣的安全性。